فناوری میکرو ماشین کاری وکاربردهای آن در MEMS

فصل اول: مقدمه ای بر MEMS فصل دوم: مارد رایج در MEMS فصل سوم:فرآیندهای میکروماشین کاری فصل چهارم: ابزارهای طراحی وشبیه سازی در MEMS فصل پنجم: کاربردهای MEMS در فضا فصل ششم: کاربرد سازه ها وسیستم های MEMS در خودرو فصل هفتم:کاربردهای نوری ساختارها وسیستم های MEMS فصل هشتم:کاربردهای MEMS در علوم زیستی فصل نهم: ساختارهای MEMS در کاربردهای فرکانس رادیویی (RF) فصل دهم: کاربرد MEMS در حسگرهای بویایی فصل یازدهم:بسته بندی وقابلیت اطمینانمحصولات MEMS